《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》雜志屬于中科院分區：2區，目前未查詢到影響因子相關數據，以下是該期刊的其他相關數據：
出版周期：Quarterly
OA是否開放：未開放
Gold OA文章占比：7.69%
是否預警：否
出版語言：English
中科院分區信息：
從大類學科分區來看，《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》雜志在中科院最新升級版分區表中位于物理與天體物理2區。物理與天體物理是一個廣泛的學科領域，涵蓋了從工程：電子與電氣的各個層面。該雜志能夠躋身2區，足以證明其在物理與天體物理領域內的學術水平和影響力。
進一步細分到小類學科，該雜志則屬于ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工程：電子與電氣領域，位于3區。
中科院分區信息
微納光刻技術雜志2023年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 物理與天體物理 | 2區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
3區
3區
3區
3區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2022年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 物理與天體物理 | 3區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2021年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2021年12月基礎版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
|
否 | 否 |
微納光刻技術雜志2021年12月升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 4區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
|
4區
4區
4區
4區
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否 | 否 |
微納光刻技術雜志2020年12月舊的升級版
| 大類學科 | 分區 | 小類學科 | 分區 | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術 | 3區 |
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
工程：電子與電氣
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
材料科學：綜合
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
納米科技
OPTICS
光學
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4區
4區
4區
4區
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否 | 否 |
中科院JCR期刊分區（又稱分區表、分區數據）是中國科學院文獻情報中心世界科學前沿分析中心的科學研究成果。在中科院期刊分區表中，主要參考3年平均IF作為學術影響力，最終每個分區的期刊累積學術影響力是相同的，各區的期刊數量由高到底呈金字塔式分布。
從影響因子的角度來看，《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》雜志也表現出色，該雜志影響因子在不同年份有所波動，但總體呈上升趨勢，這種趨勢不僅反映了該雜志在學術界的影響力逐漸增強，也體現了其在推動ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY領域發展方面的積極作用。
從JCR分區信息的角度，
按JIF指標學科分區分為：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC，分區：Q3，排名：187 / 275，百分位：32.2%；MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY，分區：Q3，排名：255 / 342，百分位：25.6%；NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY，分區：Q4，排名：91 / 107，百分位：15.4%；OPTICS，分區：Q3，排名：68 / 100，百分位：32.5%；
JCR分區信息
Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems（2023-2024年最新版數據）
| 按JIF指標學科分區 | 收錄子集 | 分區 | 排名 | 百分位 |
| 學科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 187 / 275 |
32.2%
|
| 學科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 255 / 342 |
25.6%
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| 學科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 91 / 107 |
15.4%
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| 學科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 100 |
32.5%
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湯森路透每年出版一本《期刊引用報告》（Journal Citation Reports，簡稱JCR）。JCR對86000多種SCI期刊的影響因子（Impact Factor）等指數加以統計。JCR將收錄期刊分為176個不同學科類別在JCR的Journal Ranking中，主要參考當年IF，最終每個分區的期刊數量是均分的。
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