液相外延碲鎘汞薄膜表面的結晶類缺陷分析
楊海燕; 侯曉敏; 胡尚正; 劉銘; 曹鵬飛; 趙碩 華北光電技術研究所; 北京100015
- 碲鎘汞
- 結晶類缺陷
- 相分離
摘要：利用掃描電鏡、能譜分析、光學輪廓儀以及金相顯微鏡等測試手段對 液相外延碲鎘汞薄膜表面缺陷的形貌、成分和斷面進行了分析,并研究了不同 種類表面缺陷的特征及來源。結果表明,液相外延碲鎘汞薄膜表面上存在的結 晶類缺陷往往尺寸較大或成片分布,對后續器件產生明顯影響。通過分析其成 因可以發現,母液均勻性的提升是減少該類缺陷和提高碲鎘汞薄膜質量的關鍵。
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