摘要：慣性傳感器被廣泛應(yīng)用于地球重力場反演、等效原理驗(yàn)證等科學(xué)實(shí)驗(yàn)中,用來測量空間非保守力作用引起的微小加速度擾動以實(shí)現(xiàn)航天器的無拖曳控制。目前國內(nèi)外正在大力開展的空間引力波探測計(jì)劃中,慣性傳感器作為核心測量載荷主要用于屏蔽外界噪聲擾動,并通過靜電控制和微推進(jìn)器的測量及補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)測試質(zhì)量在空間敏感軸方向自由漂浮運(yùn)動。本文以靜電懸浮式慣性傳感器電容結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ),結(jié)合系統(tǒng)靜電力驅(qū)動控制的工作原理,并以實(shí)際的加工條件為依據(jù),對電極不對稱性這一系統(tǒng)自身的誤差來源展開分析,通過對各種不對稱情況的系統(tǒng)性能影響比較分析,得到電極不對稱性對于系統(tǒng)性能,特別是量程損失的影響顯著。在此基礎(chǔ)上結(jié)合實(shí)際加工條件得出將加工線度尺寸誤差控制在10μm以內(nèi),面積不對稱性控制在1%~2%之間的基本要求,以降低其對系統(tǒng)測量范圍的限制,進(jìn)而提高科學(xué)目標(biāo)。