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TFT-LCD摩擦工藝過(guò)程中靜電放電不良分析及改善設(shè)計(jì) 【正文】
TFT-LCD摩擦工藝過(guò)程中靜電放電不良分析及改善設(shè)計(jì)
王國(guó)磊; 陳鵬; 李恒濱; 王景棚; 杜化鯤; 馬力; 宋紅花; 王勇輝; 張熠點(diǎn); 李寧 合肥鑫晟光電科技有限公司; 安徽合肥230012
- 薄膜晶體管液晶顯示器
- 靜電放電
- 靜電保護(hù)
摘要：本文對(duì)摩擦工藝過(guò)程中的線不良進(jìn)行了分析,通過(guò)切割驗(yàn)證、設(shè)計(jì)方案變更驗(yàn)證了降低ESD風(fēng)險(xiǎn)的兩個(gè)方向。通過(guò)實(shí)際的驗(yàn)證結(jié)果分析發(fā)現(xiàn),減小填充圖形的面積或者將填充圖形連接到公共電極,同時(shí)搭配填充圖形到信號(hào)線的距離增加到大于60μm,可以大大降低靜電放電發(fā)生的概率,不良率由20%降低到0%。結(jié)果充分表明,此設(shè)計(jì)方案可應(yīng)用于實(shí)際產(chǎn)品設(shè)計(jì)中以降低摩擦工藝過(guò)程中的ESD風(fēng)險(xiǎn)。
注：因版權(quán)方要求，不能公開(kāi)全文，如需全文，請(qǐng)咨詢雜志社
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