摘要：以SU-8負(fù)性光刻膠為原料,采用傳統(tǒng)光刻法制備微型柱子結(jié)構(gòu),在此基礎(chǔ)上利用商用疏水二氧化硅微球,通過液相沉積法來制備微型柱子分級結(jié)構(gòu)。為了增加上述結(jié)構(gòu)的超疏水性,以全氟辛基三氯硅烷為氟化劑,采用化學(xué)氣相沉積法對其表面進(jìn)行了改性。用電子掃描電鏡表征了微型柱子和微型柱子分級結(jié)構(gòu)表面的形貌,發(fā)現(xiàn)后者的粗糙度較前者增加了。通過測量水滴在表面的接觸角和滾動角,比較了不同結(jié)構(gòu)表面的疏水性能。測試了不同結(jié)構(gòu)表面在萊茵衣藻培養(yǎng)液中的防污效果來研究其疏水性能對生物防污效果的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,氟化后的微型柱子和微型分級柱子表面均具有優(yōu)良的超疏水性能,水滴在兩表面上的接觸角均高于150°,滾動角均小于10°;在微型柱子結(jié)構(gòu)表面引入分級結(jié)構(gòu)后,極大地提高了表面的疏水性能,使水滴在表面的接觸角提高7°,滾動角降低4°;表面疏水性能的提高有助于延長表面的生物防污效果。