摘要：本文對一種基于槽型微環(huán)諧振器的生物傳感器進行了研究,通過微環(huán)諧振器與槽型波導的結(jié)合,增強光與傳感媒質(zhì)的相互作用,減小傳輸損耗的制約影響。采用時域有限差分法(FDTD)研究了波導有效折射率隨傳感物質(zhì)材料折射率的變化,結(jié)果顯示它們呈線性關(guān)系,這為折射率的有效傳感提供了可能。采用電子束光刻和等離子體刻蝕技術(shù)在SOI基片上制備了樣品,SOI基片的頂層硅和埋入氧化層的厚度分別為220 nm和2μm,微環(huán)諧振器的微環(huán)半徑為30μm。采用波導光柵耦合器來實現(xiàn)光的輸入和輸出,頻譜測量顯示槽型微環(huán)諧振器的品質(zhì)因數(shù)達到了2 940,通過測量傳感器表面覆蓋不同濃度的氯化鈉溶液時光譜謝振峰的變化,得到傳感器的靈敏度和檢測極限分別為980.24 nm/RIU和5.4×10^-4 RIU。