采用石英玻璃作為離子減薄制樣儀離子槍高壓絕緣體的應用
陳小平; 胡小俠; 林奎; 郭前進; 鄧小娟 天津大學分析測試中心; 天津300072
- 石英玻璃
- 絕緣體
- 離子減薄儀
- 離子槍
摘要：針對離子減薄制樣儀的離子槍高電壓絕緣體(環)污染失效、再生變型等問題,提出了以石英玻璃環替代陶瓷環為絕緣體的方案,設計實施方法并進行實踐驗證.結果表明:使用高光潔度石英玻璃絕緣體顯著提高了抗金屬粉塵污染的能力,壽命長且經濟耐用,還能經熱處理清潔后再生重復使用,大大延長了更換絕緣體的時間,具有重要的應用價值.
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分析測試技術與儀器
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